低接触倒片器/单篮倒片器（Low contact wafer transfer）

低接触式晶圆倒片转换

• 电脑控制的批量晶圆转移

• 符合高价值的晶圆处理要求

• 低维护成本，精度高

• 缓慢提起晶圆 无磨损

• 触摸屏显示器

• 可编程位置和速度

低接触式晶圆倒片转换